仕佳光子新增特色服务—测试与可靠性业务,为了方便阅读,给您做了目录指引:
【01】工艺监控
【02】性能评估
【03】可靠性测试
01
工艺监控
光致发光扫描测试系统
样品类型:
2寸~6寸wafer
最小尺寸5mm*5mm
测试项目:
光致发光的光谱
测试特点:
532nm和980nm激光器
波长范围600~1700nm
X射线衍射仪
样品类型:
2寸~6寸wafer
最小尺寸10mm*10mm
测试项目:
摇摆曲线、ω/2θ扫描
测试特点:
三轴晶分辨率3.6"
霍尔效应测试仪
样品类型:
最小尺寸10mm*10mm
测试项目:
电阻率、载流子浓度、迁移率
测试特点:
常温测试、77K测试(液氮温度)
载流子浓度:10^7~10^21cm^-3
迁移率:1~10^7cm^2/V/S
电化学C-V测试系统
样品类型:
最小尺寸12mm*12mm
测试项目:
载流子浓度
测试特点:
载流子浓度1^13~1^20cm^-3,
腐蚀深度50nm~20μm
原子力显微镜-AFM
样品尺寸:
直径≤150mm
测试项目:
表面粗糙度、台阶测量
测试特点:
最大台阶测量高度≤10μm;
台阶测量高度误差±1nm
扫描电子显微镜-SEM
样品尺寸:
直径≤50mm
测试项目:
表面结构和组分对比
测试特点:
最大分辨率 1.0nm;
放大倍数10x~1,000,000x
椭偏仪
样品尺寸:
直径≤200mm
测试项目:
薄膜厚度、折射率
测试特点:
波长范围300nm~1800nm;
厚度误差±2nm;
折射率误差±0.001
台阶仪
样品尺寸:
直径≤150mm
测试项目:
台阶测量
测试特点:
最大台阶高度≤327μm;
精度±4nm
分光光度计
样品尺寸:
最小尺寸12mm*18mm;
最大尺寸100mm*80mm;
测试项目:
薄膜透射率和反射率
测试特点:
波长范围400nm~3000nm;
精度误差0.2%
02
性能评估
样品封装类型-介绍
为方便芯片测试,需要将芯片封装为不同的类型:
▷我司可提供所有的封装代工服务。
非零延时自外差线宽测试
样品类型:
TOSA、蝶形
测试项目:
利用非零延时自外差法测量激光器线宽
测试特点:
用声光移频器移频
频谱仪可测频率范围10Hz-44GHz
最佳激光器线宽测试能力<10KHz
可测激光器波长范围:1540~1560nm
洛伦兹线宽测试
样品类型:
TOSA、蝶形
测试项目:
以功率谱密度形式测量光频率噪声
提取白噪声、分析洛伦兹线宽
测试特点:
光频率噪声可测到20MHz
可测激光器波长范围:
1260~1360nm、1520~1625nm
RIN测试
样品类型:
COC、TOSA、蝶形
测试项目:
测试RIN值
测试张弛振荡频率
测试特点:
可测激光器波长范围:1265nm-1625nm
可测频率范围:100MHz-26.5GHz
输入功率高达7dB,改善测量信噪比
RIN测量值可低至-167dB/Hz
频率稳定性测试
样品类型:
TOSA、蝶形
测试项目:
测量信号的频率相位抖动等
测试特点:
具有59GHz实时带宽
采样率160GSa/s(2通道),采样率80GSa/s(4通道)
高达2Gpts的深存储器捕获更多数据
常规LIV测试
样品类型:
COC、TO、TOSA、蝶形
测试项目:
用来测试大功率半导体激光器的光电性能参数和LIV性能曲线,可计算阈值电流Ith、指定电流Io下的发光功率Pf、正向电压Vf等参数
测试特点:
最大输出电流:脉冲模式30A,连续模式3A
脉宽最小可设到1μs
占空比最大1%
PD响应波长范围 800~1700nm
光谱测试
样品类型:
COC、TO、TOSA、蝶形
测试项目:
测量连续和脉冲电流模式下激光器的光谱,可计算中心波长、边模抑制比、谱宽等参数
测试特点:
可测激光器波长范围:600-1700nm
分辨率最小可设到0.02nm
S参数测试
样品类型:
COC、蝶形
测试项目:
可测试3dB带宽、相位、反射系数、电压驻波比、群时延
测试特点:
10MHz-67GHz测试范围,可测试激光器、调制器、探测器以及无源产品
1dB压缩点测试
样品类型:
COC、蝶形
测试项目:
可测试产品射频功率输入输出线性度
测试特点:
微波源频率可达44GHz
频谱仪频率10MHz-44GHz
二次谐波抑制比测试
样品类型:
COC、蝶形
测试项目:
测试产品的谐波产物,评估产品的非线性及失真指标
测试特点:
微波源频率可达44GHz
频谱仪频率10MHz-44GHz
三阶交调测试
样品类型:
COC、蝶形
测试项目:
测试三阶交调产物,衡量产品线性度
测试特点:
微波源频率可达44GHz
频谱仪频率10MHz-44GHz
链路噪声系数测试
样品类型:
7PIN蝶形、BOX
测试项目:
测量大功率激光器或者常规激光器链路噪声系数
测试特点:
可测频率范围最高可达26.5GHz
灵敏度测试
样品类型:
ROSA 、BOX
测试项目:
灵敏度测试
测试特点:
频率范围2.5-32GHz
03
可靠性测试
腔体式TO试验箱
样品类型:
TO
测试项目:
TO封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验
测试特点:
上下箱体温度分别设定;互不干扰;
温度范围:RT+25~150℃;
各个老化板电流分别控制,电流范围0~200mA;
定时记录各通道背光电流值。
抽屉式TO试验箱
样品类型:
TO
测试项目:
TO封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验
测试特点:
具有ACC和APC模式;
各盒内温度分别设定,互不干扰;
温度范围:RT+25~150℃;
各老化盒电流分别控制,电流范围0~300mA;
定时记录各通道背光电流值。
抽屉式COC试验箱
样品类型:
COC
测试项目:
COC封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验
测试特点:
具有ACC和APC模式;
各盒内温度分别设定;互不干扰;
温度范围:RT+25~150℃;
各老化盒电流分别控制,电流范围0~500mA;
定时记录各通道前光功率值。
抽屉式COC试验箱
样品类型:
COC
测试项目:
COC封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验
测试特点:
兼容直流输出和脉冲输出模式;
各盒内温度分别设定,温度范围:RT+ 25~120℃;
CW:0~2A;
QCW:0~3A,脉宽1us~20us,占空0.01%~10%;
定时记录各通道前光功率值。
高温高湿加电试验箱
样品类型:
TO
测试项目:
TO封装的激光器湿热环境带电老化试验
测试特点:
箱体温度设定范围:-40℃~150℃;
箱体湿度设定范围:0%~98%RH
各个老化板电流分别控制,电流范围0~200mA;
定时记录各通道背光电流值。
抽屉式TO试验箱
样品类型:
TO
测试项目:
TO封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验。
测试特点:
具有ACC和APC模式;
各抽屉温度分别设定,温度范围:RT+45~120℃;
各老化抽屉电流分别控制,电流范围0~1A;
定时记录各通道背光电流值
抽屉式COC试验箱
样品类型:
COC
测试项目:
COC封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验。
测试特点:
各抽屉温度分别设定,温度范围:RT+45~120℃;
各老化抽屉电流分别控制,电流范围0~6A;
定时记录各通道前光功率值。
高压加速老化试验机
样品类型:
适用于多种产品类型
测试项目:
用于产品研发设计阶段工艺快速验证
测试特点:
温度:+100 ℃~+132 ℃(饱和蒸气温度);
压力:0.120~0.289Mpa;
湿度:100%RH,不可调。
HAST高压加速老化试验机
样品类型:
适用于多种产品类型
测试项目:
用于产品研发设计阶段工艺快速验证
测试特点:
温度:+100 ℃~+147℃;
压力:0.120~0.289Mpa;
湿度:70-100%RH,可调。
可程式恒温恒湿箱
样品类型:
适用于多种产品类型
测试项目:
用于产品常规可靠性试验,验证产品在高低温交变环境下性能
测试特点:
温度:-70 ℃~+150℃;
湿度:20-98%RH;
电热鼓风干燥箱
样品类型:
适用于多种产品类型
测试项目:
用于产品常规可靠性试验,验证产品在高温环境下性能
测试特点:
温度:室温+10 ℃~+200℃。
静电放电发生器
样品类型:
Chip、TO
测试项目:
半导体激光器、器件进行静电抗扰度测试
测试特点:
放电模式:HBM人体静电放电模型;
放电网络:1500Ω/100pF;
最大静电电压:±8.000kV。
LC310液相色谱仪
样品类型:
物料邻苯四项的含量
测试项目:
用于物料Rohs2.0检测
测试特点:
可用于检测物料中邻苯二甲酸二异丁酯(DIBP)、邻苯二甲酸(2-乙基己基酯)(DEHP)、邻苯二甲酸二丁酯(DBP)邻苯二甲酸丁苄酯(BBP)含量。